国产划片机 2022-01-16
国产划片机纳米科学手艺特点中的半导体封测装备营业包括划片机、切割周边装备、切割耗材、焦点零部件空气主轴等产品,主要应用于半导体封测环节的切割研磨工序;清静生产监控装备营业包括矿山清静生产监控类、电力清静节能环保类和专用配套装备等三大类产品,主要应用于煤矿、电力等工业生产领域。
晶圆切割主要分为刀片切割和激光切割两大工艺,划分对应砂轮划片机和激光划片机两类划片装备。刀片切割包括一次切割和分步一连切割的方法,效率高,本钱低,寿命长,是使用最普遍的切割工艺,尤其在较厚晶圆(>100 微米)具备优势。
激光切割工艺切割精度高、切割速率快,可是主要适用于较薄晶圆(<100 微米)的切割,在切割较厚晶圆时保存高温损坏晶圆的问题,仍需要刀片切割举行二次切割配合,同时激秃顶价钱较为腾贵,寿命较短。
国产厂商在高端细亲近割划片领域与外洋厂商仍有较大差别,同时品牌着名度尚缺,缺乏市场竞争能力,在全球市场中所占份额极低。
划片机现在主要分为两种方法,划分是砂轮划片机和激光划片机,但由于激光切割不可使用大功率以免爆发热影响区,破损芯片以及造价高昂(一样平常在100 万美元/台以上),工序上需要二次切割,因此形成砂轮划片机占有80%的市场份额,激光划片机作为划片机增补,占有20%。
| 最大事情物尺寸 | mm | ? 6"或160mm×160mm方形 | |
| X轴 | 事情台左右行程 | mm | 240 |
| 进刀速率输入规模 | mm/s | 0.1 - 400 | |
| Y轴 | 可切削规模 | mm | 165 |
| 单步步进量 | mm | 0.0001 | |
| 定位精度 | mm | 0.005以内/165 0.003以内/5 (简单误差) | |
| Z轴 | 有用行程 | mm | 30 |
| 重复精度 | mm | 0.001 | |
| 可使用的最大切割刀片直径 | mm | ? 58 | |
| θ轴 | 最大旋转角度 | deg | 320 |
| 转角区分率 | ″ | 0.0002° | |
| 主轴 | 额定输出功率 | kW | 1.5(1.8、2.4可。 at 50,000 min-1 |
| 额定扭矩 | N?m | 0.27 | |
| 旋转数规模 | min-1 | 3,000 - 50,000 (60,000*) | |
| 可使用的最大框架 | 6寸 | ||
| 基础规格 | 电源 | V | 单相AC220V ±10%上述以外需设置变压器 |
| 耗电量 | kw | 加工时 kW 0.5(参考值) 暖机时 kW 0.3(参考值) | |
| 最大耗电量 | kVA | 3.2 | |
| 压缩空气供应压力 | Mpa | 0.5 - 0.8 | |
| 压缩空气最大消耗量 | L/min(ANR) | 185 | |
| 切削水压力 | Mpa | 0.2 - 0.4 | |
| 最大消耗量 | L/min | 4.0 | |
| 冷却水压力 | Mpa | 0.2 - 0.4 | |
| 最大消耗量 | L/min | 1.5(在0.3MPa时) | |
| 排风量 | m?/min | 1.5 | |
| 装备尺寸(W × D × H) | mm | 680 × 900 × 1660 | |
| 装备重量 | kg | 约500 | |
划片机的手艺应用和划片机的设计资料以及划片机电路图可以关注BETVLCTOR网页版注册划片机官网时时更新动态。

